第884章浸润式DUV光刻机

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对于EUV光刻机的研发，困难很多，主要还是在光源这块。

陈怀庆并不急迫，也没有想着说，EUV光刻机在短时间就能够搞定。

他心理的预�

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第884章 浸润式DUV光刻机